温度变化及振动条件下是否可以实现测量倾斜精度值？

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答案:

答案很可能是否定的。关于明确倾斜精度值的问题总是很难回答，因为在MEMS传感器性能方面需要考虑许多环境因素。通常，消费级加速度计难以在动态环境中检测小于1°的倾斜。为了表明这一点，我们将通用消费级加速度计与新一代低噪声、低漂移和低功耗MEMS加速度计进行比较。这一比较着眼于倾斜应用中存在的许多误差源，以及可以补偿或消除哪些误差。

可以观察到0g偏置精度、焊接引起的0g偏置漂移、PCB外壳对准引起的0 g偏置漂移、0g偏置温度系数、灵敏准确度和温度系数、非线性度以及横轴灵敏度等误差，并且可以通过装配后校准流程减少这些误差。滞后、使用寿命期间的0g偏置漂移、使用寿命期间的灵敏度漂移、潮湿引起的0g漂移以及温度随时间变化引起的PCB弯曲和扭转等等，这些误差项无法通过校准或其他方法解决，需要通过一定程度的原位维修才能减少。在这一比较中，假设横轴灵敏度、非线性度和灵敏度得到补偿，因为相比温度系数失调漂移和振动校正，尽量减少这些误差所需的工作量要少得多。

表1列出了消费级 ADXL345 加速度计理想性能规格及相应倾斜误差 的估算值。试图达到最佳倾斜精度时，必须采用某种形式的温度稳定或补偿。在下面的例子中，假设恒温为25°C。无法完全补偿的最主要误差促成因素是温漂失调、偏置漂移和噪声。可以降低带宽来降低噪声，因为倾斜应用通常需要低于1 kHz的带宽。

表1. ADXL345误差源估算值

传感器参数

典型性能

条件/注释

典型g值

应用误差（倾斜度）

噪声

X/Y轴290 μg/√Hz

6.25 Hz时的带宽

0.9 mg

0.05°

偏置漂移

Allan偏差

短期（例如：10天）

1 mg

0.057°

初始

35 mg

无补偿

35 mg

2°

有补偿

0 mg

0°

误差

无补偿

6.25 Hz 带宽

36.9 mg

2.1°

误差

有补偿

6.25 Hz 带宽

1.9 mg

0.1°

表2列出了适用于 ADXL355 的同一标准。短期偏置值根据ADXL355数据手册中的Allan方差图估算。25°C时，通用ADXL345的补偿倾斜精度为0.1°，工业级ADXL355的补偿倾斜精度为0.005°。通过比较ADXL345和ADXL355可以看出，主要的误差促成因素引起的误差已显著降低，比如噪声引起的误差从0.05°降低到0.0045°，偏置漂移引起的误差从0.057°降低到0.00057°。这表明MEMS电容式加速度计在噪声、温度系数、失调以及偏置漂移等性能方面的巨大飞跃，在动态条件下能够提供更高水平的倾斜精度。

表2. ADXL355误差源估算值

传感器参数

典型性能

条件/注释

典型g值

应用误差（倾斜度）

噪声

25 µg/√(Hz)

6.25 Hz时的带宽

78 µg

0.0045°

偏置漂移

Allan 偏差

X/Y轴短期（例如：10天）

<10 µg

0.00057°

初始失调

25 mg

无补偿

25 mg

1.43°

有补偿

0 mg

0°

总误差

无补偿

6.25 Hz 带宽

25 mg

1.43°

总误差

有补偿

6.25 Hz 带宽

88 µg

0.005°

选择更高等级的加速度计对于实现所需性能至关重要，特别是应用需要小于1°的倾斜精度时。应用精度取决于应用条件（温度大幅波动，振动）和传感器选择（消费级与工业级或战术级）。在这种情况下，ADXL345将需要大量的补偿和校准工作才能实现小于1°的倾斜精度，增加整个系统的工作量和成本。根据最终环境和温度范围内的振动大小，根本不可能实现上述精度。25°C至85°C范围内的温度系数失调漂移为1.375°，已经超过倾斜精度小于1°的要求。

25°C到85°C范围内ADXL355的温度系数失调漂移为：

如表3所示，振动校正误差 (VRE) 是加速度计暴露于宽带振动时引入的失调误差。当加速度计暴露于振动环境时，相比温漂和噪声导致的0 g失调，VRE在倾斜测量中会导致明显误差。这是不再使用数据手册的主要原因之一，因为很容易掩盖其他主要规格。

表3. 以倾斜度表示的误差

最大倾斜误差0g失调与温度之比 (°/°C)

噪声密度(°/√(HZ)

振动校正(°/g2rms)

ADXL354

0.0085

0.0011

0.0231

ADXL355

0.0085

0.0014

0.0231

12.5grms振动导致的1g方位失调的范围为±2g。

在具有较高振幅的环境中，必须使用较高g范围的加速度计才能最大限度减少削波导致的失调。表4列出了ADXL35x系列加速度计及其相应的g范围和带宽。

表4. ADXL354/ADXL355/ADXL356/ADXL357的测量范围

产品

测量范围(g)

带宽(kHz)

ADXL354B

±2, ±4

1

ADXL354C

±2, ±8

1

ADXL355B

±2, ±4, ±8

1.5

ADXL356B

±10, ±20

1.5

ADXL356C

±10, ±40

1.5

ADXL357B

±10.24, ±20.48, ±40.96

1

选择适用于倾斜应用的ADXL35x系列加速度计将确保高稳定性和可重复性，可以耐受温度波动和宽带振动，并且相比较低成本的加速度计，所需的补偿和校准更少。该系列产品采用密封封装，可以确保最终产品出厂后重复性与稳定性始终符合规格参数。新一代加速度计可在所有环境下提供可重复的倾斜测量，它们在恶劣环境中无需进行大量校准即可实现最小倾斜误差。